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干式真空泵的介绍。

时间:2021-05-10     作者:淄博沃德气体设备有限公司   阅读

无油干式机械真空泵(也称为干式机械泵)是指一种机械真空泵,其泵可以从大气压力开始泵送空气,并将泵送的空气直接排放到大气中。泵腔内无油或其他工作介质,泵的极限压力与油封真空泵相同或接近。

干式真空泵.jpg

目前真空行业使用的机械真空泵大多采用油、水或其他聚合物作为泵的工作介质,具有冷却、、密封、、润滑等多种功能。随着科学技术的发展和真空应用领域的扩大,原机械真空泵及其抽真空系统存在两个需要解决的问题:一是泵的工作介质回流污染抽吸容器,往往影响产品质量,增加设备维护成本。其次,真空泵中的介质由于一些工艺过程中的反应物质而严重变质,使泵无法正常工作。

对于常见的无油真空系统,虽然可以使用油封真空泵和冷阱或吸附阱等附件来防止回流,但不能完全解决问题,系统复杂。采用不同类型的干式机械真空泵,可取得理想的应用效果。

干机械真空泵的应用十分广泛,主要有以下几点。

(1) 除了半导体技术,产生颗粒的技术不想把颗粒混入泵油中,而是想把颗粒排出泵,一定型号的干式机械真空泵可以满足要求。

(2)半导体蚀刻技术。在这些生产技术中,经常使用或生成腐蚀性气体和研磨粒子。

(3)低压化学气相沉积多晶硅制备技术。

(4)用作一般无油清洁真空系统的前级泵,防止油污。

(5) 化学,医药,食品工业蒸馏,干燥,脱泡,包装等,防止有机溶剂污染,适用于干式真空泵。