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干式真空泵的五种形式

时间:2021-05-28     作者:淄博沃德气体设备有限公司   阅读

      干式真空泵的非常广泛,五种形式都与它有一定的关系,不知道你们对这五种形式了解多少,不了解也没关系,本文就介绍这五种形式的知识给大家。

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  一、双圆裂片式。

  双圆裂片式多级结构使气路结构更加复杂,每一级都需要流量较大的氮作为稀释和隔离剂。与此同时,为了获得良好的真空度,对各个级别的间隙要求都很严格。这一设计当然是因为增加了内部压缩比,所以能耗相对较低。

  二、三片圆裂片式。

  三圆裂片式设计与上述形式设计的原理相同,只是将气体分成三份,只需旋转一圈,而不像双圆裂片式分成两份。为进一步降低电力消耗,在传动部分有些厂家选择了两台直流电机,但是这也会导致转矩降低,重启能力下降。

  三、组合形式(罗茨+爪子)

  组合(罗茨+爪子)设计采用罗茨提高低压抽气效率,而采用爪子提高高压抽气效率。原理和气路与前面介绍的圆裂片设计相同。又有一些厂家把它的最后一级改为了星型设计,这样可以在一圈旋转中把气体分成五份,就像三圆片的设计可以把它分成三份。

  四、外部压缩型螺杆式

  外接压缩式螺纹设计,采用一对等间距螺纹。这样可以将内部压缩降至最低,同时使气体的路径最短,也最简单。通过这种方式,气体在泵内停留时间也最短。这种设计在复杂的半导体工艺中显示了很好的稳定性。

  五、内部压缩型螺杆式

  不断减少螺杆之间的体积使螺杆内部产生压缩。许多生产过程中,这种内部压缩类似于多级泵,很容易导致气体在泵内发生物理和化学变化,从而产生固化或液化。

  在以上介绍中,我们了解了干式真空泵的五种形式,在以后的使用过程中,我们可以根据自己的需要进行选择。