根据基本原理干式真空泵可分为两类：一类是体积式真空泵，如爪式泵、罗茨泵、螺杆泵、往复式活塞式干泵、隔膜泵、涡旋泵等。

　　不同类型的真空泵有不同的性能参数和适用场合。例如，无油隔膜泵主要用于实验室。

　　石化装置干式真空泵主要是爪式真空泵和螺杆式真空泵。此外，由于罗茨泵在低压下的时候压缩较高，通常作为爪式真空泵的前泵形成罗茨爪式真空泵，与纯爪式真空泵相比，可有效提高低压下的真空泵速率。

　　在半导体产品的制造过程中，所需要的真空系统需要具有去除腐蚀性气体、粉尘颗粒物、有毒气体等这些功能。因此，油封机械泵不能满足半导体行业的需要。在半导体行业的驱动下，干式真空泵出现于20世纪80年代。由于目前下游集成电路、光伏、LED等这些行业的可持续发展和进步，干式真空泵的产品类型也不断增加，性能、控制集成度等指标参数也有比较明显的提高。截至目前，干式真空泵已用于发达国家的半导体相关行业。近年来，我国也出现了干式真空泵取代油泵的明显趋势。干式真空泵已基本用于国内高端半导体行业。

　　干式真空泵工作时，无摩擦，运行平稳，噪音低，工作室无润滑油。因此，干式真空泵可以去除大量的水蒸气和少量的灰尘。由于螺杆形成了螺距结构，与等螺距结构相比，极限真空更高，功耗更低，具有节能、免维护等优点。是油封真空泵的更新产品。

　　除了半导体行业之外，制药、化工、食品行业对真空泵的需求量也是比较大的，在过去的时候很多行业使用油封机械泵会产生油污染。近年来，国家高度重视环境保护，因为使用干式真空泵可以在工作中减少油污染，而且使用干式真空泵还可以实现溶解媒体的回收，提高利用率，因此制药、化工、食品等行业，用干式真空泵来取代原油封机械泵，这些行业对干式真空泵有大量新的需求。

　　干式真空泵是未来行业发展的趋势。虽然目前使用不多，但除了价格高之外，用户对干式真空泵了解不够，看不到未来给企业带来的经济效益。然而，干式真空泵使工作容量无油，带来了很多好处。

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