干式真空泵主要在半导体工业、化学工业、薄膜工业已应用于发展。国外干式真空泵市场正处于蓬勃发展的阶段。例如，在日本，半导体行业已经使用干式真空泵代替油封机械泵，而欧洲和美国超过45%的半导体行业使用干式真空泵代替油封机械泵，这比较大的提高了产品的性能和质量。过去，半导体行业的油封机械泵使用惰性氟油润滑，以防止腐蚀性气体侵蚀油，但氟油非常昂贵，维护成本也很高。因此，干式真空泵逐渐的在各行各业中发展起来。

　　采用干式真空泵，泵内不仅无润滑油，而且无废液处理问题。但泵腔内无油，使泵腔内间隙无法保持密封，也失去了温度控制的传热介质，对干式真空泵带来了巨大挑战。部分真空泵由两台电机同步驱动，确保泵运行时无部件接触，无密封设计，确保无泄漏，满足新的ATEX防爆规定的要求。由于能保持最小的内部温度，可控制泵气体的冷凝和腐蚀可能造成的损坏效应，易于输送腐蚀介质，安全输送易燃易爆气体。

　　干式真空泵在半导体行业的成功应用也鼓励干泵制造商将干泵引入化工行业。虽然干泵价格昂贵，但运行成本较低，特别是无废液处理问题，对环境和健康非常有益。目前，有许多类型的干泵，包括涡旋泵、隔膜泵、干旋片泵、罗茨干泵、爪干泵和螺杆真空泵。罗茨干泵、爪干泵和螺杆真空泵在化工行业的应用中占主导地位。

　　在制药行业的溶剂回收中，由罗茨泵和螺杆真空泵组成的干燥真空系统可以在排气侧冷凝干燥过程中的有机溶剂，实现溶剂的回收。由于干式真空泵腔内没有其他工艺介质，节能环保，无废液处理问题，溶剂可全部回收。因此，干式真空泵已成为该应用领域的较佳选择。

　　在石化行业汽油蒸汽回收方面，干式真空泵是汽油蒸汽回收装置中的关键设备。抽气为挥发性汽油蒸汽，主要成分为C4.C5.C6等汽油蒸汽。油气回收装置采用活性吸附，实现油气中烃类成分与空气的分离，达到排放标准。活性炭的再生是通过真空解吸来实现的，以达到回收利用的目的。真空油气通过汽油喷雾吸收将油气转化为汽油并回收利用。

　　随着我国对环境保护的日益重视，国家或行业制定了各种法律、标准和规定，严格限制汽油和蒸汽的排放，要求储油库和加油站必须增加油气回收装置，并符合排放浓度为25g/m3、油气处理效率为95%的标准。

　　因此，干式真空泵在各行各业的发展前景非常长远。以上就是淄博沃德气体设备有限公司小编整理的干式真空泵的工作原理与目前的市场前景的相关内容，希望对您有所帮助，淄博沃德期待您的来电与合作。