干式真空泵（也称干式机械泵）是指泵在正常压力下可启动抽气，可将吸入的气体直接排入大气腔，泵腔内无油或其他工作介质，压力等于或接近油封真空泵的机械真空泵。

　　截止2013年，真空行业应用的干式真空泵大部分选用油、水或别的高聚物等原材料原料做为泵的工作媒介，在泵内具备生产制冷、密封性、润滑油等多种多样作用。伴随着科学研究的发展趋势和真空应用行业的扩张，原来的机械装置真空泵及其排风系统软件有二种急需解决的难题：一是泵的工作媒介反流，污染被抽容器，而这类反流在许多状况下，会危害商品的品质和总数，提升机器设备的维护保养成本费。次之，真空泵中的媒介因为一些全过程中的反应物而比较严重变质，使泵没法正常工作。

　　对于一般的无油真空系统来说，不能完全解决问题，使系统变得复杂，尽管油封真空泵和冷却陷阱或吸附陷阱等附件可以用来防止回流。使用适当类型的干式真空泵可以达到预期的效果。

　　干式真空泵应用广泛，主要表现在以下几个方面：

　　1、多晶硅制备工艺的低压化学气相沉积；

　　2、半导体蚀刻工艺。干式真空泵或产生腐蚀性气体和磨料颗粒常用于这些生产过程；

　　3、半导体工艺之外的一些会产生颗粒的工艺，预计颗粒不会混入干式真空泵的泵油中，有望排出泵内颗粒，部分干式机械真空泵可以满足要求；

　　4、干式真空泵应用于化工、医药、食品等行业的蒸馏、干燥、脱气、包装、医药、食品等行业的蒸馏、干燥、脱气；

　　5、一般无油洁净真空系统使用干式真空泵，防止油污。

　　干式真空泵分为许多不同类型的设备，以满足不同的使用要求。在各个方面，下面将介绍如何正确选择它们。

　　干式真空泵，我们总渴望能够减小其物理尺寸。但这与真空泵的抽吸速度相矛盾，干式真空泵的抽吸速度与容积是成正比的。物理尺寸小，就意味着容积也小，当然影响干式真空泵抽吸速度的还有一个重要因素就是速度。要想让小型真空泵的抽吸速度与大型真空泵的抽吸速度相匹配，就需要提升速度。改变干式真空泵转速的方法有两种，一种是改动电源的频率，也就是用变频器；另一种是改变变速器的传动比。其中，用变频器的好处是可以提供闭环控制，但在重负荷时很容易造成转矩损失。改变变速器的传动比是一种很经济的方法，当然只能提供单速，不能控制。

　　干式真空泵的错误会降低机器效率，影响晶圆生产和交付，乃至会造成晶圆废弃物和别的零部件的加工损坏。因为螺杆设计选用单级设计，所应用的零部件数与滚珠槽、爪形、组合等多级泵对比可降低60%。这针对干式真空泵的平稳性和将来的维护保养费用而言是挺大的优点。

　　一般来说，内压螺丝干式真空泵的选择可能是一个很好的选择，如果用户觉得功耗对他来说很重要，氮含量对他来说也不重要。但总的来说，对废气处理的要求越来越严格，以后减少氮的使用尤为重要。如果你想处理各种半导体工艺而不使用简单的库存控制泵来改变它们，外压缩螺丝干式真空泵是一个不错的选择。

　　结合以上所有设计类型的优势是理想的，具体要看具体情况，但目前还是不可能的。所以用户需要了解干式真空泵的设计类型，再根据自己的工艺特点了解不同类型泵设计的效果。这样的选择可以降低干式真空泵的使用成本，获得更长的使用寿命和稳定的真空系统。