气冷罗茨泵的停机过程并非简单断电，需遵循科学流程，避免因操作不当导致设备损坏、真空系统污染或倒吸等问题。以下从停机前准备、停机核心流程、停机后维护三方面，详细说明关键步骤与注意要点。

一、停机前：做好状态核查与环境准备

停机前需先确认两项核心条件，为安全停机奠定基础。首先，检查真空系统状态，需确保系统内无正在进行的工艺作业（如镀膜、蒸馏等），若仍有物料反应或气体抽送，需先完成工艺收尾，关闭进气阀门，让泵空载运行 5-10 分钟，将系统内残留气体充分抽除，避免停机后气体滞留导致管道腐蚀或杂质沉积。其次，核查设备运行参数，通过控制面板确认泵体温度（应低于 80℃）、冷却气体压力（0.3-0.5MPa）、电机电流等指标均处于正常范围，若存在温度过高、压力异常等情况，需先排查故障，待参数恢复正常后再停机，防止故障扩大。

此外，需提前准备好停机工具与防护用品，如扳手（用于关闭阀门）、防尘罩（停机后覆盖泵体），若处理过腐蚀性或有毒气体，还需准备防护手套与呼吸器，避免后续操作中接触残留有害物质。

二、停机中：遵循 “先断负载、后断动力” 的核心流程

停机操作需严格按顺序进行，重点防范倒吸与部件损伤，具体分四步：

先缓慢关闭泵体进气阀门，切断气体来源；随后关闭冷却气体供应阀门，若冷却系统为独立风机，需待泵体温度降至 60℃以下后再关闭风机，避免泵体因突然断冷导致局部过热。操作阀门时需匀速转动，防止因阀门骤关产生压力冲击，损坏管道密封件。

关闭进气阀门 3-5 分钟后，按下电机停止按钮，切断泵体电源。停机后需观察转子惯性运转状态，正常情况下转子应平稳减速，无异常摩擦噪音或卡顿；若出现转速骤降、异响，需立即检查是否存在转子卡滞或轴承故障，禁止强行再次启动。

停机后 10 分钟内，需开启系统预设的防倒吸阀门（如单向阀、破空阀），缓慢向真空系统内通入干燥惰性气体（如氮气），将系统压力从高真空状态平稳恢复至大气压，避免因系统内外压力差过大，导致空气或管道内积液倒吸入泵体，污染转子与密封件。充气过程中需控制压力上升速率，每分钟不超过 5kPa，防止压力骤升冲击设备。

若气冷罗茨泵与前级泵（如旋片泵）联动运行，需待气冷罗茨泵完全停止转动、系统压力恢复至大气压后，再按前级泵停机流程关闭前级泵，最后切断前级泵电源与辅助系统（如润滑油循环泵），避免前级泵先停机导致气冷罗茨泵排气口压力升高，引发转子反转。

三、停机后：做好检查维护与环境防护

停机后需及时开展三项维护工作，保障设备下次稳定启动。一是清洁与检查，用干燥抹布擦拭泵体表面灰尘，重点检查冷却气路管道是否有泄漏（可涂抹肥皂水检测）、密封件是否存在老化裂纹，若处理过含粉尘气体，需拆开进气过滤器，清理滤芯内残留颗粒物，必要时更换滤芯；二是状态记录，在设备运行台账中记录停机时间、停机前运行参数、是否出现异常情况，为后续故障排查提供依据；三是防护措施，若长期停机（超过 7 天），需在泵体进气口与排气口安装防尘盖，防止灰尘进入；同时每周启动泵体空载运行 15 分钟，润滑轴承与密封件，避免部件长期静置导致润滑油干结。

此外，需注意停机后的环境管理，保持设备周边通风干燥，避免腐蚀性气体或液体溅落泵体，若环境温度低于 5℃，需为泵体加装保温罩，防止润滑油凝固或管道结冰。

遵循以上步骤操作，可有效降低气冷罗茨泵停机过程中的故障风险，延长设备使用寿命。若停机后发现泵体存在异常（如密封件渗漏、转子异响），需及时联系专业人员检修，禁止带故障再次启动。